| 機型 | 電動龍門定柱型機構（G2-Type） |
| 量測行程 | X/Y :400～2000mm Z : 50～300mm |
| 線性精度 | U1xyz ( 5 + 5L / 1000 ) um / ±3um (選配) |
| 操作方式 | 萬向搖桿搭配電子手輪亦可選配專用軟體介面操控 |
| 光學尺 | Mitutoyo 光學尺 / RENISHAW 光學尺 |
| 驅動方式 | 伺服馬達 ＋ 滾珠螺桿 |
| 移動速度 | MAX 200mm/sec (最小移動單位為 1um) |
| 量測系統 | 可搭配任何光學系統或儀器 |
| 平台材質 | 花崗岩平台 |
載物平台
(選配) | 強化玻璃平台(標準配備)／花崗岩平台(大型模具專用)
多段式真空平台(大型薄件專用)
真空旋轉平台(晶圓及晶圓鐵框架專用) |
| 量測軟體 | 可搭配市售各款影像量測軟體／專用軟體(選配) |
| 使用電壓 | 可指定使用 (AC110/220 60HZ 20A) |
| 量測行程：可依實際需求製訂行程。 | | 線性精度：絕對線性精度將依光學尺規格為準。 | 量測系統：搭配Keyence VK / VHX / NIKON / OLYMPUS 等光學系統。
產線機型或大型程機型若需搭配3D共軛焦顯微鏡，建議採用雙系統或多系統，
單一機身即可使用不同系統，各系統並獨立操作，互不干擾，真正做到一機多用。 |
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